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重要技术指标的测试方法

来源:https://www.speakingingrace.com/a_20161012124842.html   编辑:澳门5788cc手机版    更新日期:2016-10-12 12:48:02    点击:1168

重要技术指标的测试方法

 

 

当完成仪器的安装调试等工作后,即可进行仪器性能指标的测试,对仪器进行验收工作。因目前尚未有相关的国家标准文件(已存在的《激光喇曼光谱分析方法通则》JY/T 002-1996已不适用于目前大多数的拉曼谱仪),所以,一般按照仪器供应商提供的验收和检定方法实行。几个重要的技术指标,包括仪器的灵敏度、光谱分辨率和空间分辨率等,测试方法先容如下(以Renishaw公司的产品为例)。
1 仪器灵敏度
单晶硅三阶峰(约在1440cm-1)的信噪比好于10:1。检测条件为:样品上的激光功率一般为<8mW,波长514. 5nm,狭缝宽度(或针孔直径)50μm,曝光时间60s,扫描叠加次数5次,binning≤2,光栅为每毫米1800刻线。显微镜头为50 X或100X。
具体操作步骤:
使用50 X(或100X)镜头聚焦到清洁的单晶硅表面,光谱仪入射狭缝设定到50μm,使用1800线/mm光栅,采用连续扫描方式,设定测试范围1100-500cm-1,积分时间为60s,累计次数5次,binning为1。读取1440cm-1信号高度和基线噪声值,计算二者比值为信噪比。
2 光谱分辨率
使用氖灯,光谱仪入射狭缝20μm,每毫米1800线光栅,测试17086Abs.cm-1绝对波数)原子发光线,该线半高全宽小于1cm-1。
具体操作步骤:
使用任意倍数镜头聚焦到氖灯发光源位置,光谱仪入射狭缝设定到20μm,使用800线/mm光栅,采集17086ABS.cm-1发光信号。经计算机谱线拟合得到半高全宽。
3 光谱重复性
使用表面抛光的单晶硅作样品,扫描范围100~4000cm-1,重复不少于30次。观测硅拉曼峰(520cm-1),520cm-1峰中心位置重复性好于±0.2cm-1。
具体操作步骤:
使用50X(或100X)镜头聚焦到清洁的单晶硅表面,设定时间序列采谱方式30次自动采集520cm-1峰信号。拟合520cm-1峰信号并保存拟合参数。使用批数据(mapping数据矩阵处理方式)拟合采集520cm-1峰信号实测数据精确位置,绘制峰位变化曲线,峰位波动范围应小于±0.2cm-1。

 

 

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